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Diseño del control de la temperatura del portasustrato de una cámara de alto vacío para elaborar películas semiconductoras delgadas
(Pontificia Universidad Católica del Perú, 2012-11-06)
Este trabajo de tesis muestra el diseño del control de temperatura del portasustrato de la
cámara de alto vacío del Laboratorio de Ciencia de los Materiales de la Sección Física de
la PUCP. Para estudiar las propiedades ...